FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進的光學(xué)器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。

典型應(yīng)用包括：厚玻璃的厚度測量（厚度可達(dá) 2 毫米，透明或霧面）晶圓厚度測量（例如直徑達(dá) 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓）。

FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標(biāo)系和極坐標(biāo)結(jié)合，用于大面積的厚度測量。

硅片厚度分布圖（12英寸）

特點：

o 單擊分析（無需輸入初始預(yù)估值）

o 動態(tài)測量

o 內(nèi)建700種以上不同材料

o 可安裝多個離線分析軟件

o 免費軟件更新